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2020年01月09日10:18
1、划痕
划痕即是样品表面上的线性凹槽,是由研磨粒子造成的。
应对措施:
1.确定在粗磨后,试样座上所有样品的表面都均匀地布满同样的 磨痕花样;必要时重新进行粗磨;
2.每一道步聚后均应仔细清洁样品和试样座,以去掉前一道工序中的大研磨粒子对磨/抛用具的干扰;
3.如果在现行的抛光工序后仍有前面工序留下的磨痕,请先增加 25~50%的制样时间。
二、变形
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